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나노기술의 새 공정
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과학문화세상

나노기술의 새 공정

등록일 : 2008.06.10

조회수 : 94 회
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10억분의 1미터를 정확히 잴 수 있는 나노기술이 나왔습니다.

한국표준과학연구원 김경중 박사는 반도체 공정에서 가장 까다로웠던 산화막의 나노미터 두께 측정기술을 개발했는데요.

엑스선 광전자 분광법을 이용한 이번 기술은 차세대 반도체 산업에 필수 기반기술로 환영받고 있습니다.
 

(한국정책방송 KTV 위성방송 ch164, www.ktv.go.kr )
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